1、ZYGO GPI XP/D 型激光干涉仪 1) 对准系统: 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线) 2) 放大范围: 6:1(非连续式放大,低失真)调整可视范围 3) 尺寸:308 x 694 x 308 mm 4) 重量:36 Kg 5) 原装控制手柄一个 2、ZYGO原装MetroPro测量软件 1) Microsoft Windows XP***版下运行的ZYGO MetroPro软件 2) 测量方法:激光三维相移干涉法 3) 测量功能:***测量各种不同反射面或光学面的形貌及特性 3、4英寸标准平面镜头1个 4、计算机 :LENOVO PC主机一台;电脑液晶彩显两台, 性能参数: 1、测量重复性:1λ/300 (2σ ) 2、RMS 重复性:2 λ/10,000 (2σ) 3、数据采样: 640x480 像素,8位 4、分辨率:>λ/8,000 5、条纹分辨率:180条纹 7、数据采样时间:低分辨率(7幅数据图像):93 ms ;高分辨率(13幅数据图像):173 ms 8、测量光束直径:102 主要参数1、干涉仪主机配计算机及操作软件,激光稳频,QPSI抗震移相,精度1/10 Wave(PV); 2、球面标准镜尺寸为4,精度为1/10 Wave(PV); 3、平面标准镜尺寸为4,精度为1/20 Wave(PV); 4、五维调整架(xy偏心,xy俯仰,z轴平移,绕z轴旋转)与自定心夹具配合,夹持尺寸为4; 5、***直线导轨形成1m,***小位移0.020 ?m,精度±4.0 ?m; 6、主动隔振光学平台,长/宽/高(mm)2400/1500/200,0.5-10HZ振动隔离 功能用途光学元件表面面形及光学系统透射波前像差测量