详细说明 工厂转让一台日本原装OTFC-1550真空电镀膜机 真空室尺寸:Φ600-1550mm 60点/80点式光学膜厚监控 使用均匀分布的高离子电流密度的离子源 搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上 利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程 工件架可选择钟罩式或行星式 排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵 设备名称OTFC-1550CBI/DBI 真空室SUS304, φ1550mm 工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变) 光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围:350nm to1100nm反射式/透射式可选 水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器 蒸发源电子枪2套 离子源10cm RF 离子源 排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold(或1个冷凝泵) 性能 达到压力7.0 × 10-5 Pa 以下 排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa) 基板温度:350℃ 工作条件 设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx. 电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA 水流量180升/分以上 空气压力0.5MPa 以上 重量约5400kg