二手光弛2350真空电镀膜机 蒸发电镀机转让

详细说明 　　工厂转让一台日本原装OTFC-1550真空电镀膜机 　　真空室尺寸：Φ600-1550mm 　　60点/80点式光学膜厚监控 　　使用均匀分布的高离子电流密度的离子源 　　搭载双电子，多点和环型坩埚可镀100层以上 　利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程 　　工件架可选择钟罩式或行星式 　　排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵 　　规格 　　设备名称OTFC-1550CBI/DBI 　　真空室SUS304, φ1550mm 　　工件架φ1550mm 　　工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变) 　　光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围：350nm to1100nm反射式/透射式可选 　　水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器 　　蒸发源电子2套 　　离子源10cm RF 离子源 　　排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵） 　　性能 　　排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa) 　　基板温度：350℃ 　　工作条件设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx. 　　电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA 　　水流量180升/分以上 　　空气压力0.5MPa 以上 　　重量约5400kg