特价出售二手日本光驰OTFC-1550真空度镀膜机

	

工厂转让一台日本原装OTFC-1550真空电镀膜机使用范围:介质膜及金属膜光学元件镀膜
OTFC- 1550光驰机(年份:2015. 11）
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM
工件架：Ф1400
工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A
光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源：2套日本电子16P双枪
离子源：23 寸光驰RF离子源

排气系统：机械泵2个，扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)275机械泵+爱德华配套罗茨泵


性能

达到压力：7. 0X10-5Pa以下
排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)
基板温度：较高: 350C

工作条件

设备尺寸：药500m00) x 7200m(D)X53700mm 
电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量：180升/分以上
空气压力：0.5MPa以上
重量：约11000kg